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2007/07/26
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昨日は理研に泊まった。 お泊り＝一人夕飯 かと思ったら、 別の研究室のモチさんが出現。 セミコクリーンはSiO2を削るか否かを雑談。 そして ピザを取る事に。 んでもってSMZさんも呼び、 久々に3人でご飯。 やっぱり人と食べるご飯はおいしいね。
んで。 この二日間でECRエッチングの条件出ししてた。 なんでRFを落とすと垂直性が増すの？ なぞ。 なぞ。 通りすがりの半導体屋さん、誰か教えて。 でも。 事実なので、その条件使ったら、 狙ったとおりの形状を取得。 最初垂直そのあとはデブッチョ。 これならゲートまきつくよ。 次回はこれで行こうね、りょーくん。 お気に入りの記事を「いいね！」で応援しよう
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