2008/05/06(火)13:20
ナノチューブで超微細な立体回路、産総研チームが成功
次世代の新素材、カーボンナノチューブで、超微細な立体回路を作ることに、産業技術総合研究所(茨城県つくば市)の畠賢治チーム長らが成功した。
集積回路の小型化や高感度センサーの開発などに弾みがつくと期待される。4日のネイチャー・ナノテクノロジー誌電子版に発表する。
畠さんらはシリコンの基板上に約800度に熱したガス状の炭素を吹き付けてナノチューブを合成。それらを半導体加工に使う技術を応用して加工した。
その結果、1万分の1ミリ・メートルほどの極細の配線や立体的な構造を作ることが可能になった。(参考=5月5日 読売新聞)