ナノチューブで超微細な立体回路、産総研チームが成功

　次世代の新素材、カーボンナノチューブで、超微細な立体回路を作ることに、産業技術総合研究所（茨城県つくば市）の畠賢治チーム長らが成功した。 　集積回路の小型化や高感度センサーの開発などに弾みがつくと期待される。４日のネイチャー・ナノテクノロジー誌電子版に発表する。 　畠さんらはシリコンの基板上に約８００度に熱したガス状の炭素を吹き付けてナノチューブを合成。それらを半導体加工に使う技術を応用して加工した。 　その結果、１万分の１ミリ・メートルほどの極細の配線や立体的な構造を作ることが可能になった。（参考＝5月5日 読売新聞）