めっき技術マスターの店

熱ＣＶＤ法は、他のＣＶＤ、あるいはＰＶＤ法と比べて次のような長所、短所がある。

「長所」
１．ほとんどあらゆる種類・組成の金属、合金、セラミックスの析出物が得られる。

２．コーティング膜、バルク単結晶、ウイスカー、ファイバー、粉末、あるいは
ファイバーや粉末上へのコーティングなど様々な形態の析出物を得る事が出来る。

３．膜の浸透力が大変優れているので、複雑な基材上へも均一なコーティングができる。
また、基材に対する密着性も大変優れている。

４．プロセスが簡単であるので、装置費が安価である。

「短所」
１．析出物を得るのに高温を必要とするので、装置材料や基材に制約がある。
また、高温処理に伴う基材の寸法変化や残留熱応力が発生しやすい

２．一般に、反応性の高い原料ガスをしようする為、装置や基材の腐食性の問題・
取り扱い時の爆発・毒性などに対する細心の注意が必要である。

３．プロセスパラメーターに不均一性がある為、膜厚・膜構造・膜組成などが不均一になりやすい

４．部分コーティングが困難である。