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2012.09.14
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カテゴリ:カテゴリ未分類

東新プラスチッククリーンルーム測定結果

測定条件:立上げ10分程度
     FFU及びクリーンパーティション稼動、エアコン稼動

場所 状況 0.1CF吸引によるパーティクル数 考察
0.3um 0.5um 0.7um 1.0um 2.0um 5.0um 測定:平成24年9月12 実施者:CSC難波
1.外気 公道より7m程 243914 10929 2432 1380 676 68 
2. 更衣室 218049 9961 2569 1695 958 171 
3. AS内 1名シャワー中 11018 810 363 271 175 47 パンカー漏れ検査OK 
4. 前室 66758 2384 380 186 78 6 
5. 前室 40972 1503 260 127 44 5 
6. 前室 31013 1148 213 119 53 8 
7. 前室 33467 1277 276 135 51 7 
8. CL内部 風か逃げる中心位置 1138 119 67 51 32 10 
9. パーティション前 テーブル面 217 16 6 4 2 0 吹出し面の作業予定表により乱流
10.パーティション前 テーブル面 0 0 0 0 0 0 
11. エアコン脇 218 43 28 19 14 4 
12. 検査台 上部FFU未稼働 525 161 117 94 58 8 クリーンブースにより淀み有り 
13. エアコン吹出し口 268 38 23 21 11 0 エアコン汚染なし 
14. ブース内 FFU稼動,排気テーブル未稼働 365 86 57 47 29 6 
15. ブース内 FFU稼動,排気テーブル稼働 220 39 22 18 10 1 模擬作業状況にて計測 16.ブース内脇 FFU稼動,排気テーブル稼働 442 179 127 109 77 21 模擬作業状況にて計測 
17. 排気テーブル吹出し口 吹出し直下 302 41 11 5 2 0 プレフィルターレベルの捕集効率 
18. 中心部 293 86 53 45 27 2
19.中心やや奥 166 34 15 10 4 1 
20. FFU直下 170 65 47 35 24 3
暫定クラス判定 1,000

 







Last updated  2012.09.14 08:46:38
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