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論文「問題解決は全身全魂で」(に改名)第2章


2008年01月11日
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カテゴリ:論文
Al腐食形態


図4.11 半導体素子上のアルミニウム配線の腐食の形態

写真の白い部分がアルミニュウム配線で、黒くなっているところが腐食した部分(左のアノード側では明らかにアルミニュウムがなくなっている)です。腐食するとその部分で電気が通じなくなるので、半導体素子が動作できなくなってしまいます。

アルミニウムの場合、二種類の腐食(形態)があります。この金属は、酸に漬けた場合も、アルカリの漬けた場合も腐食してしまいます。

写真で、「アノード」(左)と書いてある配線はプラスの電圧をかけたものです。この場合、配線の表面は酸性になっています。

一方、「カソード」(右)と書いてある方にはマイナスの電圧がかかっていました。こちら側では、液がアルカリ性になっていました。

このように、同じ液でも、電圧がかかっていると、酸性になったり、アルカリ性になったりできるのです。

なお、ここで、「μm」というのは、ミクロン、即ち、百万分の一メートルのことです。


写真に示したような腐食が起きないようにしたいのです。

そのために、私は、これらの腐食を引き起こしている要因を明らかにして、どういう状態にしたら、同じ形態の腐食を実験室で作れるか、という検討を始めました。






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最終更新日  2008年01月13日 18時42分31秒
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